[发明专利]等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201410604520.3 | 申请日： | 2014-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN105632860B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 韦刚;刘利坚;李东三;李兴存 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体加工设备，包括反应腔室、用于承载被加工工件的基座和射频天线装置，该射频天线装置包括电感线圈、电极板组和射频源，其中，电感线圈和电极板组相互并联，且与射频源电连接，并且二者设置在反应腔室顶部，且分别与基座的不同位置相对应。本发明提供的等离子体加工设备，其在利用电感线圈产生等离子体的基础上，同时利用电极板组产生等离子体，可以起到调整等离子体对应基座不同位置的分布密度的作用，以使基座上各被加工工件间的刻蚀结果趋于均匀，从而可以提高刻蚀均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种等离子体加工设备，包括反应腔室、用于承载被加工工件的基座和射频天线装置，其特征在于，所述射频天线装置包括电感线圈、电极板组和射频源，其中，所述电感线圈和电极板组相互并联，且与所述射频源电连接，并且二者设置在所述反应腔室顶部，且分别与所述基座的不同位置相对应。
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