[发明专利]铝靶材的制造方法

摘要

一种铝靶材的制造方法，包括提供铝锭；对所述铝锭进行第一热处理；在所述第一热处理后，对所述铝锭进行锻打以形成第一铝靶材坯料；对所述第一铝靶材坯料进行第二热处理；在所述第二热处理后，对所述第一铝靶材坯料进行轧制以形成第二铝靶材坯料；将至少两个所述第二铝靶材坯料接触在一起；对接触在一起的所述第二铝靶材坯料同时进行第三热处理，以形成铝靶材。所述制造方法提高了所形成的铝靶材中，不同铝靶材之间晶粒大小的均一性，并且提高了生产效率，降低了生产成本。

主权项

一种铝靶材的制造方法，其特征在于，包括：提供铝锭；对所述铝锭进行第一热处理；在所述第一热处理后，对所述铝锭进行锻打以形成第一铝靶材坯料；对所述第一铝靶材坯料进行第二热处理；在所述第二热处理后，对所述第一铝靶材坯料进行轧制以形成第二铝靶材坯料；将至少两个所述第二铝靶材坯料接触在一起；对接触在一起的所述第二铝靶材坯料同时进行第三热处理，以形成铝靶材；其中，所述第二铝靶材坯料的形状呈长方体，所述长方体中面积最大的两个表面为主表面，其它表面为侧面；将至少两个所述第二铝靶材坯料接触在一起的步骤包括：将相邻两个所述第二铝靶材坯料中，第一个所述第二铝靶材坯料的其中一个所述主表面与第二个所述第二铝靶材坯料的其中一个所述主表面部分叠合在一起以形成阶梯错开式叠合，使相互叠合的所述主表面至少有部分暴露在外，并在每个所述第二铝靶材坯料的所述主表面连接一个热电偶。