[发明专利]一种基于双分束元件的准分子激光脉冲展宽装置有效

专利信息
申请号: 201410607020.5 申请日: 2014-11-02
公开(公告)号: CN104319615B 公开(公告)日: 2017-12-26
发明(设计)人: 李斌成;王强;韩艳玲 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: H01S3/10 分类号: H01S3/10;H01S3/081
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司11251 代理人: 杨学明,贾玉忠
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种基于双分束元件的准分子激光脉冲展宽装置,包括指向相同的两个分束元件和一个基于两个或者多个球面反射镜的共焦谐振腔。第一个分束元件将入射激光束分为两束,一束光进入共焦谐振腔,产生一定的光学延迟后入射到第二个分束元件,另一束光直接入射到第二个分束元件。第二个分束元件将每一束入射光束进一步分为两束,其中一束光进入光学谐振腔并产生一定的光学延迟后回到第一个分束元件进一步分束,另一束与其他被分束元件分光后直接输出或者经共焦谐振腔光学延迟后输出的光束合并,形成输出光束。本发明能有效提高脉冲展宽效率,降低展宽后输出激光束的峰值功率,提高准分子激光光学系统中光学元件的使用寿命。
搜索关键词: 一种 基于 双分束 元件 准分子激光 脉冲 展宽 装置
【主权项】:
一种基于双分束元件的准分子激光脉冲展宽装置,其特征在于:包括指向相同的两个分束元件和一个共焦谐振腔;第一个分束元件将入射激光束分为两束,一束光进入共焦谐振腔,产生一定的光学延迟后入射到第二个分束元件,另一束光直接入射到第二个分束元件;第二个分束元件将每一束入射光束进一步分为两束,其中一束光进入光学谐振腔并产生一定的光学延迟后回到第一个分束元件进一步分束,另一束与其他被分束元件分光后直接输出或者经共焦谐振腔光学延迟后输出的光束合并,形成输出光束。
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