[发明专利]一种石墨烯的化学图形化方法在审
| 申请号： | 201410607577.9 | 申请日： | 2014-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN104317162A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 潘洪亮;崔华亭;史浩飞;余崇圣;钟达 | 申请（专利权）人： | 重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 朱振德 |
| 地址： | 401329 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯的化学图形化方法，包括以下步骤：1）在石墨烯表面涂抹光阻材料；2）将步骤1）得到的光阻材料-石墨烯复合材料曝光显影，得到需要的图形；3）将步骤2）得到的曝光显影后的光阻材料-石墨烯复合材料送入反应装置，将显影暴露的石墨烯转变为石墨烷；4）去除步骤3）得到的复合材料上的光阻材料，得到图形化的石墨烯。本发明将需要图形化的石墨烯部分进行保留，而将不需要的部分变成石墨烷，由于石墨烷不导电，所以不会影响石墨烯的导电性能，这样既保证了石墨烯的功能性图形化得以实现，同时也保留了石墨烯加工的可逆性。本发明能够做到大规模、高效率的对石墨烯进行图形化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 化学 图形 方法 | ||
【主权项】：
一种石墨烯的化学图形化方法，其特征在于：包括以下步骤：1）在石墨烯表面涂抹光阻材料；2）将步骤1）得到的光阻材料‑石墨烯复合材料曝光显影，得到需要的图形；3）将步骤2）得到的曝光显影后的光阻材料‑石墨烯复合材料送入反应装置，将显影暴露的石墨烯转变为石墨烷；4）去除步骤3）得到的复合材料上的光阻材料，得到图形化的石墨烯。
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