[发明专利]气体输送装置及等离子体处理装置在审
| 申请号： | 201410608881.5 | 申请日： | 2014-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN105590825A | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 魏强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体输送装置，包括气体分流器，用于将反应气体分流为流量可控的多路以输出至等离子体反应腔体内的气体导流件的不同区域；气体调节器，用于接收经气体分流器输出的其中一路反应气体并将其分流为多条支路以输出至气体导流件上对应于该路反应气体的区域内的不同子区域。气体调节器包括与该对应区域的不同子区域相连通的多条气体传输管线，其中至少一条气体传输管线包括并联的至少三条分支管线及流量切换组件，该流量切换组件用于控制每一分支管线的传输流量及导通和截止状态以调节该条气体传输管线所输送的气体流量。本发明能够实现流量比不同的多路反应气体在气体导流件上多区域分布控制。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 输送 装置 等离子体 处理 | ||
【主权项】：
一种气体输送装置，应用于等离子体处理装置，所述等离子体处理装置包括反应腔体，其特征在于，所述气体输送装置包括：气体分流器，用于将反应气体分流为流量可控的多路以输出至位于所述反应腔体内的气体导流件的不同气体分布区域；至少一个气体调节器，连接于所述气体分流器及所述气体导流件之间，每一所述气体调节器用于接收经所述气体分流器输出的其中一路反应气体并将其分流为多条支路以输出至所述气体导流件上对应于该路反应气体的气体分布区域内的不同子区域，其包括与该对应的气体分布区域的不同子区域相连通的多条气体传输管线，其中至少一条气体传输管线包括并联的至少三条分支管线及流量切换组件，该流量切换组件用于控制各所述分支管线的传输流量及导通和截止状态以调节该条气体传输管线所输送的气体流量。
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