[发明专利]一种宽带隙肖特基二极管氢气传感器芯体及其制备方法在审
| 申请号： | 201410611721.6 | 申请日： | 2014-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN104374817A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 陈浩;谢贵久;景涛;曹勇全;陈伟;龚星;袁云华;靳建军 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氢气传感器芯体，尤其涉及一种宽带隙肖特基二极管氢气传感器芯体及其制备方法。本发明提供了一种宽带隙肖特基二极管氢气传感器芯体，依次包括基片、介质层和氢气敏感层，所述介质层为二氧化铪薄膜。该管氢气传感器芯体的响应时间小于20s，能够检测得氢气浓度下限为50ppm，表明其在氢气传感器领域具有潜在的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽带 隙肖特基 二极管 氢气 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种宽带隙肖特基二极管氢气传感器芯体，依次包括基片（1）、介质层（2）和氢气敏感层（3），其特征在于：所述介质层（2）为二氧化铪薄膜。
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