[发明专利]非易失性存储器件有效

专利信息
申请号: 201410613050.7 申请日: 2014-11-04
公开(公告)号: CN105047666B 公开(公告)日: 2019-07-05
发明(设计)人: 金南润;朴圣根 申请(专利权)人: 爱思开海力士有限公司
主分类号: H01L27/11521 分类号: H01L27/11521
代理公司: 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人: 俞波;许伟群
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 一种非易失性存储器件包括:第一有源区和第二有源区,其彼此分开;浮栅,其与第一有源区交叉,并且被设置成使得其一个端部与第二有源区重叠;选择栅,其与第一有源区交叉,以及被设置成与浮栅并排并且与浮栅耦接;电介质层,其被设置在浮栅和选择栅之间,其中电介质层、浮栅和选择栅的叠层形成水平结构的第一电容器;阱区,其被设置在第二有源区中并且与浮栅耦接,其中,阱区和浮栅的叠层形成垂直结构的第二电容器;以及接触部,其与阱区和选择栅共同耦接。
搜索关键词: 非易失性存储器
【主权项】:
1.一种非易失性存储器件,包括:第一有源区和第二有源区,其彼此分开;浮栅,其与所述第一有源区交叉,并且被设置成使得其的一个端部与所述第二有源区重叠;选择栅,其与所述第一有源区交叉,以及被设置成与所述浮栅并排并且与所述浮栅耦接;电介质层,其被设置在所述浮栅和所述选择栅之间,其中,所述电介质层、所述浮栅和所述选择栅的叠层形成水平结构的第一电容器;阱区,其被设置在所述第二有源区中并且与所述浮栅耦接,其中,所述阱区和所述浮栅的叠层形成垂直结构的第二电容器;以及接触部,其与所述阱区和所述选择栅共同耦接。
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