[发明专利]一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜有效
| 申请号： | 201410614414.3 | 申请日： | 2014-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN104330870B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 刘俊伯;程依光;司新春;邓钦元;周毅;高洪涛;胡松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;顾炜 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜，该物镜采用了双远心结构，共10片镜片，工作波段为365nm±10nm。物镜光学物像共轭距为L＝350mm，其中物方工作距为85.2mm，像方工作距约为79.5mm。物方有效视场为20mm×20mm，物方数值孔径NA＝0.19，工作分辨力为σ＜100μm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 三维 打印机 数值孔径 成像 物镜 | ||
【主权项】：
一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜，其特征是：该成像物镜物象共轭距为L＝350mm；其中物镜的物方工作距为85.2mm，像方工作距为79.5mm，物镜工作中心波长为365nm，有效工作波段为360nm～370nm；该物镜共有10枚镜片，构成双远心对称式结构，从物面光线入射方向开始到光阑前为第一组镜片，第一组镜片包括第一镜片L1，第二镜片L2，第三镜片L3，第四镜片L4，第五镜片L5，其中第五镜片L5为负透镜，其余镜片为正透镜；从光阑后到像面前为第二组镜片，第二组镜片包括第六镜片L6，第七镜片L7，第八镜片L8，第九镜片L9，第十镜片L10；第二组镜片与第一组镜片关于光阑对称，即第六镜片L6与第五镜片L5相同，第七镜片L7与第四镜片L4相同，第八镜片L8与第三镜片L3相同，第九镜片L9与第二镜片L2相同，第十镜片L10与第一镜片L1相同。
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