[发明专利]用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪有效
申请号: | 201410618422.5 | 申请日: | 2014-11-06 |
公开(公告)号: | CN104297382A | 公开(公告)日: | 2015-01-21 |
发明(设计)人: | 庄鸿涛;郁光;方华 | 申请(专利权)人: | 上海华爱色谱分析技术有限公司 |
主分类号: | G01N30/02 | 分类号: | G01N30/02 |
代理公司: | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人: | 陈志良 |
地址: | 200233 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明为一种用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪,其结构包括进样系统,切换阀,色谱柱,放空针阀和检测器,其特征在于:所述进样系统包括样品进口、样品出口、第一定量管、第二定量管、第三定量管;所述切换阀包括第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀;所述色谱柱包括第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第六色谱柱;所述放空针阀包括第一针阀、第二针阀、第三针阀)、第四针阀、第五针阀、第六针阀;所述检测器包括氦离子化第一检测器PDD1和第二检测器PDD2。本发明一次进样即完成电子级六氟乙烷中各个无机杂质的色谱分析,且灵敏度高、重复性好,符合标准。 | ||
搜索关键词: | 用于 电子 级六氟 乙烷 微量 杂质 分析 色谱仪 | ||
【主权项】:
用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪,其结构包括进样系统,切换阀,色谱柱,放空针阀和检测器,其特征在于:所述气相色谱仪的第一切换阀(1)上设有第一定量管(8)和第二定量管(9),第二切换阀(2)上设有第一针阀(24)和第二针阀(25),第三切换阀(3)上设有第三针阀(26)、第四针阀(27)和第一检测器PDD1(6),第四切换阀(4)上设有第四色谱柱(14)和第三定量管(10),第五切换阀(5)上设有第五针阀(28)、第六针阀(29)和第二检测器PDD2(7);第一切换阀(1)和第二切换阀(2)之间由所设的第一色谱柱(11)连接,第二切换阀(2)和第三切换阀(3)之间由所设的第二色谱柱(12)连接,第一切换阀(1)和第三切换阀(3)之间由所设的第三色谱柱(13)连接,第四切换阀(4)和第五切换阀(5)之间由所设的第五色谱柱(15)和第六色谱柱(16)连接。
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