[发明专利]一种在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置和方法

摘要

本发明公开了一种在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置和方法，装置包括菲索移相干涉仪，平面标准镜，被测平面镜，千分表，千分表支架，大理石平台，转台，六维调整平台，方镜，计算机，标记平面镜。其中标记平面镜的中心位置有十字刻线；方镜左右表面中心有垂直于上表面的刻线，上表面有两个过上表面中心的十字刻线，两十字刻线连线长度已知，方向与长边平行。该装置通过方镜和标记平面镜上刻线标示的使用，将被测平面镜的侧面刻线标示转移到测出的面形图中，实现了测量被测平面镜面形的同时，标定出被测平面镜的中心、侧面刻线标示在面形图上的对应位置和图像的像素分辨率，即确定出了检测数据的坐标系，从而为加工人员根据检测结果度修正被测平面镜面形提供更准确的数据。

主权项

一种在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置，其特征在于：该装置包括：菲索移相干涉仪(101)，平面标准镜(102)，被测平面镜(103)，千分表(104)，千分表支架(105)，大理石平台(106)，转台(107)，第一六维调整平台(108)，方镜(110)，第二六维调整平台(109)，计算机(111)和标记平面镜(112)，其中：第一六维调整平台(108)和第二六维调整平台(109)放于转台(107)上，转台(107)放于大理石平台(106)上；方镜(110)放于第二六维调整平台(109)上，第二六维调整平台(109)可在六个自由度调节方镜(110)；被测平面镜(103)放于第一六维调整平台(108)上，第一六维调整平台(108)可在六个自由度调节被测平面镜(103)；在大理石平台(106)上安装上千分表(104)和千分表支架(105)，千分表(104)与被测平面镜(103)的外边缘接触；被测平面镜(103)侧边缘的刻线(1031)、方镜(110)的左表面的刻线(1101)、右表面的刻线(1104)大致共面；平面标准镜(102)装在菲索移相干涉仪(101)的前端，并位于平面镜(103)的上方几厘米处；计算机(110)与菲索移相干涉仪(101)连接，可控制菲索移相干涉仪(101)，时时显示干涉条纹图像，并获得菲索移相干涉仪(101)的CCD坐标系下的面形数据，且含图像处理算法，该算法可将不连续的面形数据分离出来，提取面形数据中的特征点。