[发明专利]一种β二亚胺基硅化合物及其应用有效
| 申请号： | 201410621227.8 | 申请日： | 2014-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN104447838B | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 丁玉强;杜立永;王大伟;许从应 | 申请（专利权）人： | 江南大学 |
| 主分类号： | C07F7/10 | 分类号： | C07F7/10;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/32;C23C16/40 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司23211 | 代理人： | 耿晓岳 |
| 地址： | 214122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种β二亚胺基硅化合物，采用以下方法制备(1)将β二亚胺或其衍生物溶解在反应溶剂中，在‑78～0℃搅拌条件下加入烷基锂溶液，β二亚胺或其衍生物与烷基锂的摩尔比为11～1.2；恢复到室温后继续搅拌反应0.5～3小时，得到反应混合物；(2)将步骤(1)得到的反应混合物过滤，得到锂盐固体，将锂盐固体溶于有机溶剂中，得到锂盐溶液；(3)在‑78～0℃按照锂盐与含硅反应物摩尔比1～41，向锂盐溶液中滴加含硅反应物或其溶液，升至一定温度反应3～10小时；(4)将步骤(3)得到的反应混合物进行过滤，滤液浓缩后结晶或减压蒸馏得到含β二亚胺基硅化合物。本发明所述化合物可以在集成电路生产中用于制备氮化硅、含碳氮化硅等薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 胺基 化合物 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种含β二亚胺基硅化合物，其结构式为：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江南大学，未经江南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410621227.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：糖基噻唑啉化合物及其制备方法和应用
- 下一篇：一种五氟磺草胺中间体的制备方法
