[发明专利]丙酮气敏传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201410621459.3 | 申请日： | 2014-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN104297303A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 傅剑宇;吴迪;周博天;袁野;严胡勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 成都赛恩斯知识产权代理事务所(普通合伙) 51212 | 代理人： | 张帆;肖国华 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种丙酮气敏传感器，包括：底座，底座包括镂空结构；支撑层，一侧与底座的正面复合，且支撑层悬空地架设在镂空结构上；加热电阻，设置在支撑层的另一侧；绝缘层，复合在加热电阻及支撑层的另一侧；两个电极，间隔地设置在绝缘层的远离支撑层一侧的表面上；对丙酮气体敏感的敏感层，设置在绝缘层的外侧，且两个电极分别与敏感层的两侧连接。由于支撑层悬空地架设在镂空结构上，因此构成了不含底座材料的多层膜结构，有效降低了结构热导，加热电阻在低功率的情况下就能使敏感层温度升至工作温度，从而进一步降低了丙酮气敏传感器功耗，使器件具有高集成度、低功耗的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 丙酮 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种丙酮气敏传感器，其特征在于，包括：底座(1)，所述底座(1)包括镂空结构(7)；支撑层(2)，一侧与所述底座(1)的正面复合，且所述支撑层(2)悬空地架设在所述镂空结构(7)上；加热电阻(3)，设置在所述支撑层(2)的另一侧；绝缘层(4)，复合在所述加热电阻(3)及所述支撑层(2)的所述另一侧；两个电极(5)，间隔地设置在所述绝缘层(4)的远离支撑层(2)一侧的表面上；对丙酮气体敏感的敏感层(6)，设置在所述绝缘层(4)的外侧，且所述两个电极(5)分别与所述敏感层(6)的两侧连接。
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