[发明专利]一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置在审
| 申请号： | 201410621527.6 | 申请日： | 2014-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN105624635A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 曹俊 | 申请（专利权）人： | 无锡康力电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙) 32208 | 代理人： | 李妙英 |
| 地址： | 214253 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置，它包括阳极罩，在所述阳极罩一端设有导轨，在所述导轨上设有挡板，所述挡板在导轨上作直线运动，在所述挡板一侧中部设有滚珠丝杆，在所述滚珠丝杆端部设有步进电机，在所述滚珠丝杆上设有真空箱体，在所述真空箱体与滚珠丝杆的连接处设有磁流体密封装置。本发明镀膜厚度可以自由调节，工作效率大大提高，结构简单，机械故障少，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 阳极 自动 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置，其特征在于：它包括阳极罩(1)，在所述阳极罩(1)一端设有导轨(2)，在所述导轨(2)上设有挡板(3)，所述挡板(3)在导轨(2)上作直线运动，在所述挡板(3)一侧中部设有滚珠丝杆(4)，在所述滚珠丝杆(4)端部设有步进电机(5)，在所述滚珠丝杆(4)上设有真空箱体(6)，在所述真空箱体(6)与滚珠丝杆(4)的连接处设有磁流体密封装置(7)。
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