[发明专利]承压散重防震脚有效
申请号: | 201410624397.1 | 申请日: | 2014-11-07 |
公开(公告)号: | CN104314273A | 公开(公告)日: | 2015-01-28 |
发明(设计)人: | 何文蔚;张旭升;朱骏;吕煜坤;许青峰 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | E04F15/024 | 分类号: | E04F15/024;E04B1/98 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;林彦之 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种承压散重防震脚,包括:支撑部件,与洁净室底部接触用于支撑洁净室;防震部件,其具有两个侧壁和与两个侧壁相连的一底部,该防震部件的底部与支撑部件底部相连,且固定于高架地板上,其侧壁与洁净室相固定;防震部件与支撑部件一体成型;利用支撑部件和具有大的底部面积的防震部件共同支撑洁净室,从而增加了防震脚与高架地板的接触面积,进一步分散了防震脚施加于高架地板上的压力,避免了高架地板容易发生形变而无法承受微环境洁净室重量的问题的发生。 | ||
搜索关键词: | 承压散重 防震 | ||
【主权项】:
一种承压散重防震脚,应用于微环境洁净室,所述防震脚位于所述洁净室底部用于支撑所述洁净室,高架地板位于防震脚下方用于支撑所述防震脚,其特征在于,所述防震脚包括:支撑部件,与所述洁净室底部接触,用于支撑所述洁净室;防震部件,其具有两个侧壁和与所述两个侧壁相连的一底部,所述底部与所述支撑部件底部相连,且固定于所述高架地板上,所述侧壁与所述洁净室相固定;所述防震部件与所述支撑部件一体成型。
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