[发明专利]基板校准方法与装置

摘要

本发明的基板校准装置用于校准薄膜沉积进出片腔中的基板，所述进出片腔具有顶部、底部、顶部与底部之间的侧壁及位于底部正上方用以承载基板的升降装置，所述底部正下方设置有用以升降所述升降装置的动力装置，所述顶部设置有基板校准装置，所述基板校准装置包括驱动机构、传动机构、导向杆，所述驱动机构驱动传动机构运动，所述导向杆临近所述传动机构的一端设置有滚轮装置，所述导向杆远离所述传动机构的一端设置有校准机构，所述滚轮装置随着所述传动机构的运动而运动，进而带动所述校准机构随着所述传动机构的运动而在导向杆上移动。本发明的基板校准机构可移动的对失准基板不同的方向同时驱使基板至预定基准位置，压力小，基板不易损坏。

主权项

1.一种基板校准装置，用于校准薄膜沉积进出片腔中的基板，所述进出片腔具有顶部、底部、顶部与底部之间的侧壁及位于底部正上方用以承载基板的升降装置，所述底部正下方设置有用以升降所述升降装置的动力装置，其特征在于：所述顶部设置有基板校准装置，所述基板校准装置包括驱动机构、传动机构、导向杆，所述驱动机构驱动传动机构运动，所述基板校准装置以传动机构为中心向外设有导向杆与之相连，所述导向杆方向与所述基板正确位置时的对角线方向或直角边的中心线方向重合，所述导向杆临近所述传动机构的一端设置有滚轮装置，所述导向杆远离所述传动机构的一端设置有校准机构，所述滚轮装置随着所述传动机构的运动而运动，进而带动所述校准机构随着所述传动机构的运动而在导向杆上移动。