[发明专利]一种用于玻璃镀膜的弧线扫描机构

摘要

本发明涉及磁控溅射玻璃镀膜设备，具体地说是一种用于玻璃镀膜的弧线扫描机构，水平动力输入组件的输出端与水平滚珠丝杠连接、驱动水平滚珠丝杠旋转，水平支架安装在与水平滚珠丝杠螺纹连接的水平丝母上，随水平丝母沿水平滚珠丝杠水平往复移动；竖直丝母安装在水平支架上，竖直滚珠丝杠与竖直丝母螺纹连接，磁控靶连接座连接于竖直滚珠丝杠的顶部，竖直动力输入组件安装在磁控靶连接座上，并通过传动机构驱动竖直滚珠丝杠旋转，进而实现竖直滚珠丝杠、磁控靶连接座及竖直动力输入组件共同沿竖直方向升降，且随水平支架水平往复移动。本发明引入水平和竖直运动，带动磁控靶在溅射的同时随异形玻璃表面形状进行二维运动，镀膜均匀性好。

主权项

一种用于玻璃镀膜的弧线扫描机构，其特征在于：包括水平动力输入组件(1)、水平滚珠丝杠(2)、水平丝母(9)、水平支架(3)、竖直动力输入组件(5)、传动机构、竖直滚珠丝杠(7)、竖直丝母(11)及磁控靶连接座(8)，其中水平动力输入组件(1)的输出端与水平滚珠丝杠(2)连接、驱动水平滚珠丝杠(2)旋转，所述水平支架(3)安装在与水平滚珠丝杠(2)螺纹连接的水平丝母(9)上，随该水平丝母(9)沿所述水平滚珠丝杠(2)水平往复移动；所述竖直丝母(11)安装在水平支架(3)上，所述竖直滚珠丝杠(7)与竖直丝母(11)螺纹连接，所述磁控靶连接座(8)连接于该竖直滚珠丝杠(7)的顶部，所述竖直动力输入组件(5)安装在磁控靶连接座(8)上，并通过所述传动机构驱动所述竖直滚珠丝杠(7)旋转，进而实现竖直滚珠丝杠(7)、磁控靶连接座(8)及竖直动力输入组件(5)共同沿竖直方向升降，且随所述水平支架水平往复移动；安装在所述磁控靶连接座(8)上的磁控靶随磁控靶连接座(8)移动。