[发明专利]基板保持装置、研磨装置、研磨方法及保持环有效
| 申请号： | 201410640498.8 | 申请日： | 2014-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN104625948B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 山木晓;安田穗积;并木计介;锅谷治;福岛诚;富樫真吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32;B24B37/10;B24B37/34;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 梅高强;刘煜 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基板保持装置(1)，具有：对基板(W)进行保持的顶环主体(10)；以及保持环(40)，该保持环(40)配置成包围保持在顶环主体(10)上的基板(W)，保持环(40)具有与研磨垫(2)接触的环状的垫按压部(122)，垫按压部(122)具有3mm以上、7.5mm以下的宽度。采用本发明，即使是连续对多个基板进行研磨的情况下，也可防止基板的边缘部处的研磨速率上升。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 按压 基板保持装置 顶环 基板 多个基板 研磨装置 边缘部 对基板 研磨垫 包围 配置 | ||
【主权项】：
1.一种用于将基板按压到研磨垫上的基板保持装置，该基板保持装置的特征在于，具有：对所述基板进行保持的顶环主体；以及单一的保持环，该单一的保持环具有构成所述基板保持装置的最外侧露出面的最下部的外周面，所述单一的保持环具有圆环部和与所述研磨垫接触的环状的垫按压部，所述垫按压部具有构成基板保持面的内周面，所述垫按压部从所述圆环部的内周端向下方延伸，所述垫按压部的宽度比所述圆环部的宽度小，所述垫按压部具有3mm以上、7.5mm以下的宽度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所，未经株式会社荏原制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410640498.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于在无线通信系统中的低功率消耗的演进型节点
- 下一篇：图像形成设备
