[发明专利]循环供液桶在审
| 申请号： | 201410643983.0 | 申请日： | 2014-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN105620879A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 陈波;李楠;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B65D25/52 | 分类号： | B65D25/52;B65D25/24;B65D25/00;B65D47/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及湿法刻蚀、清洗工艺技术领域，尤其涉及一种循环供液桶，用于向湿法刻蚀、清洗设备提供化学液，并将湿法刻蚀、清洗设备的工艺处理腔中的化学液回收，所述循环供液桶包括：桶体，用于盛装化学液，所述桶体的底部设有出液口，所述出液口通过管道与供液泵相连通，所述桶体内的化学液进入所述供液泵；桶盖，所述桶盖设置在所述桶体上端，所述桶盖上设有回收液进口；桶体支架，用于支撑所述桶体。本发明实施例所提供的循环供液桶，在向湿法刻蚀、清洗设备的工艺处理腔提供化学液的同时，将工艺处理腔中的化学液通过桶盖上的回收液进口回收至桶体内，再通过桶体底部的出液口进入供液泵，实现化学液的循环利用。 | ||
| 搜索关键词： | 循环 供液桶 | ||
【主权项】：
一种循环供液桶，用于向湿法刻蚀、清洗设备提供化学液，并将湿法刻蚀、清洗设备的工艺处理腔中的化学液回收，其特征在于，所述循环供液桶包括：桶体，用于盛装化学液，所述桶体的底部设有出液口，所述出液口通过管道与供液泵相连通，所述桶体内的化学液进入所述供液泵，所述化学液通过所述供液泵喷洒至湿法刻蚀、清洗设备的工艺处理腔内的基片表面；桶盖，所述桶盖设置在所述桶体上端，所述桶盖上设有回收液进口，所述回收液进口通过管路与所述湿法刻蚀、清洗设备的工艺处理腔内的化学液收集口相连；桶体支架，用于支撑所述桶体。
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