[发明专利]一种传感器元件的制造方法有效

专利信息
申请号: 201410644804.5 申请日: 2014-11-14
公开(公告)号: CN104391008A 公开(公告)日: 2015-03-04
发明(设计)人: 禹胜林 申请(专利权)人: 无锡信大气象传感网科技有限公司
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00;G01N27/409
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 张惠忠
地址: 214135 江苏省无锡市无锡国家高新技*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种传感器元件的制造方法,1)在外侧覆盖板上印制聚酰亚胺薄膜、云母板石棉等绝缘层材料,烘干得到绝缘的外侧覆盖板;2)设定外侧覆盖板和电极基片之间作为间隔反应带;3)在间隔反应带内侧均匀地填充一层固形材料,间隔反应层内剩余的空间用作气体通道;固形材料的主要成分为丙烯类树脂和密封性好且耐高温的石墨4)将气体敏感涂料加热,压制在半导体电子元件一侧,固定于电极基片上;5)将载有半导体电子元件的电极基片整体固定于气体通道的中央,气体敏感层正对气体输入方向;6)热压烧制,常温下冷却,得到气体传感器元件。该制作过程提高芯片寿命、提高成品率、制作工艺简单。
搜索关键词: 一种 传感器 元件 制造 方法
【主权项】:
一种传感器元件的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:1)将加热器调至150‑200℃,在外侧覆盖板上印制聚酰亚胺薄膜、云母板石棉等绝缘层材料,烘干5‑8小时得到绝缘的外侧覆盖板;2)设定外侧覆盖板和电极基片之间的距离为2‑4cm,作为间隔反应带;3)在间隔反应带内侧均匀地填充一层3‑5mm厚度的固形材料,间隔反应层内剩余的空间用作气体通道;固形材料的主要成分为丙烯类树脂和密封性好且耐高温的石墨,丙烯类树脂的含量为 80‑95wt%,石墨的含量为 5‑20wt%;4)将气体敏感涂料加热至90‑120℃,压制在半导体电子元件一侧,固定于电极基片上;5)将载有半导体电子元件的电极基片整体固定于气体通道的中央,气体敏感层正对气体输入方向;6)按顺序摆放、组装后,在50‑85℃下热压烧制,常温下冷却8‑12小时,得到气体传感器元件。
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