[发明专利]振动片、振子以及传感器

摘要

振动片、振子以及传感器，能够降低热弹性损失，具有高的Q值。振动片(10)具有进行弯曲振动的振动臂(30)；结合振动臂(30)的端部的基部(20)；锥形部(25)，其关于振动臂(30)的振动中心对称，随着从锥形部(25)与振动臂(30)的结合部靠近锥形部(25)与基部(20)的结合部，锥形部(25)的宽度变宽，当用L表示振动臂(30)的长度、用W表示振动臂(30)的宽度、用Lt表示锥形部(25)的长度、用Wt表示锥形部(25)的宽度时，利用锥形长度占有率η＝Lt/L和锥形宽度占有率ξ＝2Wt/W来规定锥形部(25)的形状。通过这样地规定锥形部(25)的形状，能够降低随振动产生的热弹性损失而提高Q值，实现稳定的振动特性。

主权项

一种振动片，其特征在于，该振动片具有：基部；以及在平面视图中从所述基部起延伸的振动臂，所述振动臂在平面视图中包含：施重部；臂部，其配置在所述施重部与所述基部之间，并且所述臂部沿着与所述延伸的方向垂直的方向的宽度比所述施重部窄；以及配置在所述施重部与所述臂部之间的锥形部，随着从所述锥形部的所述臂部侧朝向所述锥形部的所述施重部侧，所述锥形部沿着所述垂直的方向的宽度变宽，当设所述振动臂沿着所述延伸的方向的长度为L，所述臂部沿着所述垂直的方向的宽度为W，所述锥形部沿着所述延伸的方向的长度为Lt，所述锥形部的外缘与所述臂部的外缘相接合的第1结合部、和所述锥形部的所述外缘与所述施重部相接合的第2结合部之间的沿着所述垂直的方向的长度为Wt，所述Lt相对于所述L的长度占有率为η＝Lt/L，所述Wt相对于所述W的宽度占有率为ξ＝2Wt/W时，满足如下关系：0.0168≤η≤0.1680，2.409η2+4.728×10‑2η+2.959×10‑2≤ξ≤‑4.723×101η2+1.434×101η+1.711×10‑2。