[发明专利]一种坩埚用加热装置、坩埚和蒸发源有效
| 申请号： | 201410646051.1 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104357797A | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 马群;闵天奎;张朝波;张毅 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种坩埚用加热装置、坩埚和蒸发源，该坩埚用加热装置包括用于容纳所述坩埚的容纳腔，以及设置于所述容纳腔内的中部加热器，用于为位于所述坩埚中部的蒸镀材料进行加热。本发明中，可以通过加热装置的位于坩埚外围的侧面加热器对位于坩埚周边的蒸镀材料进行加热，并通过加热装置的中部加热器对位于坩埚中部的蒸镀材料进行加热，从而避免了坩埚中间材料和周边材料受热不均的现象，提高了蒸镀温度的均一性，从而可以提高蒸镀材料的纯度和蒸镀所得膜层的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 加热 装置 蒸发 | ||
【主权项】：
一种坩埚用加热装置，包括用于容纳所述坩埚的容纳腔，其特征在于，还包括设置于所述容纳腔内的中部加热器，用于为位于所述坩埚中部的蒸镀材料进行加热。
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