[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

摘要

提供具有优异的振动特性的振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。在振动元件的振动臂的主面侧，设置有朝该主面敞开的有底的一个槽，在另一个主面侧，设置有朝该主面敞开的有底的另一个槽。在设所述振动臂的厚度为T，俯视时所述振动臂的外缘与所述槽之间的沿着与所述主面的所述延伸方向垂直的方向的宽度为W、所述槽的合计为ta、ta/T为η时，在所述振动臂的所述延伸方向的至少一部分中，存在满足4.236×10×η2-8.473×10×η+4.414×10[μm]≤W[μm]≤-3.367×10×η2+7.112×10×η-2.352×10[μm]且0.75≤η＜1.00的关系的区域，在设所述振动臂的所述延伸方向上的长度为L、锤部的所述延伸方向上的长度为H时，满足0.012＜H/L＜0.30的关系。

主权项

一种振动元件，其特征在于，该振动元件包含：基部；以及振动臂，其在俯视时从所述基部延伸，在互为正反关系的第1主面以及第2主面上设置有槽，所述振动臂包含：锤部；以及臂部，其在俯视时被配置在所述基部与所述锤部之间，在设所述振动臂的厚度为T、俯视时所述振动臂的外缘与所述槽之间的沿着与所述主面的所述延伸的方向垂直的方向的宽度为W、所述槽的深度的合计为ta、ta/T为η时，在所述振动臂的所述延伸的方向的至少一部分中，存在满足4.236×10×η2‑8.473×10×η+4.414×10[μm]≤W[μm]≤‑3.367×10×η2+7.112×10×η‑2.352×10[μm]且0.75≤η＜1.00的区域，在设所述振动臂的沿着所述延伸的方向的长度为L，所述锤部的沿着所述延伸的方向的长度为H时，满足0.012＜H/L＜0.30。