[发明专利]显示器件转印定位装置及其方法有效
| 申请号： | 201410649420.2 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104465474B | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 朱涛;葛泳;刘玉成;刘雪洲 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种显示器件转印定位装置及其方法，所述显示器件转印定位装置，用于将芯片转印定位到基板上，包括转印头，位于所述基板上方，用于将芯片转印到所述基板的表面上；电容组件，所述电容组件包括第一电极阵列和与所述第一电极阵列对应的感应单元，所述第一电极阵列设置在所述基板上，所述感应单元设置在所述转印头的与所述基板相对应的转印表面上。上述显示器件转印定位装置及其方法，能更加精确、简单地进行定位，并可以根据转印头和基板之间的互感信息，确定芯片抓取是否缺失。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 器件 定位 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种显示器件转印定位装置，用于将芯片转印定位到基板上，其特征在于，所述显示器件转印定位装置包括：转印头，位于所述基板上方，用于将芯片转印到所述基板的表面上；电容组件，所述电容组件包括第一电极阵列和与所述第一电极阵列对应的感应单元，所述第一电极阵列设置在所述基板上，所述感应单元设置在所述转印头的与所述基板相对应的转印表面上，所述第一电极阵列包括至少一个第一电极单元，所述第一电极单元在所述第一电极阵列的一个方向上相互连接，在另一个方向上，各个第一电极单元是相互独立的，且所述另一个方向上的相邻两个所述第一电极单元之间形成互感电容。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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