[发明专利]一种基于石墨烯的平面光波导偏振分束器

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯的平面光波导偏振分束器，属于光电技术领域，包括绝缘层，位于半导体衬底层之上，Y分支位于绝缘层之上；Y分支包括输入光波导，第一分支波导和第二分支波导；第一石墨烯层垂直嵌入于第二分支波导中，第二石墨烯层水平嵌入于第一分支波导中；在具有水平嵌入石墨烯的波导中可有效控制波导对横磁(TM)模的吸收，而对横电(TE)模几乎透明，从而滤除TM模，输出TE模；在具有垂直嵌入石墨烯的波导中可有效控制波导对TE模的吸收，而对TM模几乎透明，从而可以滤除TE模，输出TM模。本发明具有体积小、消光比高、工作波长范围宽、串扰小、可集成的优点，在未来光电子集成中有着广泛的应用前景。

主权项

 一种基于石墨烯的平面光波导偏振分束器，包括绝缘层(20)，位于半导体衬底层(10)之上，Y分支位于绝缘层(20)之上；Y分支包括输入光波导(＃1)，第一分支波导(＃2)和第二分支波导(＃3)；第一石墨烯层(51)垂直嵌入于第二分支波导(＃3)中，第二石墨烯层(52)水平嵌入于第一分支波导(＃2)中；第一段波导(31)、第一石墨烯层(51)和第二段波导(32)依次被第一隔离介质层(41)、第二隔离介质层(42)隔离；第三段波导(33)、第二石墨烯层(52)和第四段波导(34)依次被第三隔离介质层(43)、第四隔离介质层(44)隔离。