[发明专利]一种改进的区熔气掺单晶的掺杂气路在审
| 申请号： | 201410653127.3 | 申请日： | 2014-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN104313697A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 张雪囡;王彦君;韩暐;杨旭洲;王克旭;石海涛;吴峰;刘铮 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 韩敏 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明创造提供一种改进的区熔气掺单晶的掺杂气路，所述掺杂气路管道主体结构设计为“工”字型，所述“工”字型掺杂气路一端连通保护气进气口、掺杂气进气口，另一端连通出气口及排气口，所述出气口进入炉膛内部，所述保护气进气口、掺杂气进气口及出气口均设有流量计，所述排气口设有压力阀。本发明创造提供的新型掺杂气路能够在有限的空间内改善气路中掺杂气体的混合效果，一方面可以使得气掺单晶的轴向综合均匀性及重复性得以提高；另一方面能够使保护气体得以循环利用，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进 区熔气掺单晶 掺杂 | ||
【主权项】：
一种改进的区熔气掺单晶的掺杂气路，所述掺杂气路管道主体结构设计为“工”字型，所述“工”字型掺杂气路一端连通保护气进气口、掺杂气进气口，另一端连通出气口及排气口，所述出气口进入炉膛内部，所述保护气进气口、掺杂气进气口及出气口均设有流量计，所述排气口设有压力阀。
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