[发明专利]一种新型区熔气掺单晶的掺杂气路有效
| 申请号： | 201410654187.7 | 申请日： | 2014-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN104328484A | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 王彦君;张雪囡;韩暐;郝大维;刘琨;骆红磊;边智学;王遵义 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/12 | 分类号： | C30B13/12;C30B29/06;F17D1/02 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 韩敏 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明创造提供一种新型区熔气掺单晶的掺杂气路，所述掺杂气路管道结构为“π”字型，所述“π”字型掺杂气路中间为一段足够长的L段管道，所述L段管道的一端连通保护气进气口、掺杂气进气口，另一端连通出气口及排气口，所述出气口进入炉膛内部，所述保护气进气口、掺杂气进气口及出气口均设有流量计，所述排气口设有压力阀。本发明创造提供的新型掺杂气路能够在区熔炉有限的空间内使掺杂气与保护气在入炉前充分均匀混合，改善气掺单晶均匀性、提高掺杂效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 区熔气掺单晶 掺杂 | ||
【主权项】：
一种新型区熔气掺单晶的掺杂气路，所述掺杂气路管道结构为“π”字型，所述“π”字型掺杂气路中间为一段足够长的L段管道，所述L段管道的一端连通保护气进气口、掺杂气进气口，另一端连通出气口及排气口，所述出气口进入炉膛内部，所述保护气进气口、掺杂气进气口及出气口均设有流量计，所述排气口设有压力阀。
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