[发明专利]辐射源蒸发系统及蒸镀控制方法在审
| 申请号： | 201410654319.6 | 申请日： | 2014-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN105586570A | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 赵小虎;谢博钧;粟宝卫;翟宏峰 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201508 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种辐射源蒸发系统及蒸镀控制方法。蒸发系统包括：用于承载蒸镀材料的载台以及用于产生辐射源以照射于载台上的蒸镀材料使得蒸镀材料受热蒸发的辐射产生器，蒸镀材料通过一喷嘴工具喷洒于载台上，蒸镀材料通过一保护体覆盖；蒸镀控制方法包括步骤：1)设置载台，并喷洒材料；2)在载台上加设辐射源；3)通过辐射源对材料进行蒸镀；4)控制辐射源的输出功率，以控制蒸镀速率。本发明以辐射的方式彻底代替传统的热传导方式，并解决传统热传导方式所存在的问题。本发明的优点：改进传统蒸镀方式，更好有效控制蒸发效率。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射源 蒸发 系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种辐射源蒸发系统，其特征在于，包括：用于承载蒸镀材料的载台；用于产生辐射源以照射于所述载台上的蒸镀材料使得所述蒸镀材料受热蒸发的辐射产生器。
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