[发明专利]一种碳离子注入方法

摘要

本发明提供了一种碳离子注入方法，通过改进现有的碳离子注入方法，在通入的CO₂气体中加入H₂，由于H₂和CO₂在离子注入腔室内碰撞分解成C⁺和H⁺，以及游离态的O和H原子，通过牵引电极的加速磁场将H⁺过滤掉，将C⁺加速注入到晶圆中，同时O和H反应可以生成H₂O蒸汽，可以避免O和W反应；通过控制H₂和CO₂的流速可以避免离子注入腔室内W黏附物的形成，减少对腔体的腐蚀，保证束流的均一性和稳定性；同时，没有引入其他杂质元素，避免了对晶圆的污染。

主权项

一种采用离子注入机进行碳离子注入的方法，在离子注入腔室中进行，离子注入腔室包括：晶圆夹持装置，位于晶圆夹持装置下方的阴极，位于晶圆夹持装置上方的具有加速磁场的牵引电极，以及连接于离子注入腔室的真空泵，其特征在于，包括：步骤01：将晶圆置于离子注入腔室中的夹持装置上；步骤02：对所述离子注入腔室抽真空；步骤03：向所述离子注入腔室通过不同管路分别通入CO₂和H₂；步骤04：通过所述阴极激发CO₂和H₂分解，产生氢离子、碳离子、氧原子和氢原子；步骤05：通过所述牵引电极将所述氢离子和所述碳离子吸入所述加速磁场中，同时，所述氢原子和所述氧原子反应生成水蒸气被所述真空泵抽走；步骤06：经所述加速磁场的磁场离子质量筛选，将所述氢离子排除，同时筛选出所述碳离子；并对所述碳离子进行聚焦、扫描、加速以及离子束纯化；步骤07：所述碳离子注入到所述晶圆内。