[发明专利]用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构及方法

摘要

本发明公开了一种用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构及方法。该传片机构由电池片托盘、上、下料机械手、托盘传送轨道、电池片翻面装置、PECVD反应腔等组成。PECVD反应腔的数量为两个，分别用于HIT电池正面、背面薄膜生长；电池片托盘表面开设有凹槽阵列，该托盘传送轨道呈环形结构，数量为2个，布置于两个反应腔周围；上、下料机械手采用龙门式结构，且安装多个真空吸盘；电池片翻面装置位于两个PECVD反应腔中间，由多个电池片传送带和多个旋转翻面叶片构成。本发明能一次性完成批量HIT电池的薄膜生长，实现快速自动上下料、翻转，并实现托盘高效循环利用，适用于平板式PECVD制备HIT太阳能电池整线大生产。

主权项

一种用平板式PECVD制备HIT太阳电池的传片机构，其包括电池片托盘（1）、上料机械手（2）、底部设有输送辊的托盘传送轨道（3）、下料机械手（4）、电池片翻面装置（5）、PECVD反应腔，其特征在于，该电池片托盘设置于托盘传送轨道上，且该电池片托盘有多个，每个电池片托盘表面开设用于放置电池片（12）的凹槽阵列（11）；该PECVD反应腔包括顺序设置的第一PECVD反应腔（6）和第二PECVD反应腔（7）；该托盘传送轨道（3）包括顺序设置的第一托盘传送轨道（31）和第二托盘传送轨道（32），第一、二托盘传送轨道都呈环形状态设置，该第一PECVD反应腔、第二PECVD反应腔分别设置于第一、二托盘传送轨道的环形传送路径中间，位于第一PECVD反应腔、第二PECVD反应腔前、后侧的第一、二托盘传送轨道上分别设置上料位（31）和下料位（32）；该上料机械手通过平行导轨滑动设置于上料位的电池片托盘上方，该下料机械手通过平行导轨滑动设置于下料位的电池片托盘上方，且该上、下料机械手采用龙门式结构，在龙门式结构的同一直线方向上安装有多个真空吸盘（22）；该电池片翻面装置位于第一PECVD反应腔后侧的下料位与第二PECVD反应腔前侧的上料位之间，该电池片翻面装置由多个平行布置的电池片传送带（51）和同轴旋转设置的多组旋转翻面叶片（52）构成，每组旋转翻面叶片上都设有多个呈辐射状分布的叶片传送缺口（521），且各组旋转翻面叶片上的叶片传送缺口对应设置为一直线分布状态，每组旋转翻面叶片对应设置一个电池片传送带。