[发明专利]一种多注阴极灯丝刻蚀方法有效

专利信息
申请号: 201410657500.2 申请日: 2015-08-04
公开(公告)号: CN104505321A 公开(公告)日: 2015-07-29
发明(设计)人: 孟昭红;陈爱民;于晨晨;卞磊;王莹 申请(专利权)人: 安徽华东光电技术研究所
主分类号: H01J9/02 分类号: H01J9/02
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 241002 安徽省芜*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种多注阴极灯丝刻蚀方法,将待刻蚀灯丝依次进行刻蚀处理、酸液残余冲洗并抽检处理、中和处理、碱液残余冲洗、脱水处理和干燥处理并保存,可得到刻蚀质量优异的多注阴极灯丝。有益效果是:采用本发明刻蚀方法所得到的多注阴极灯丝表面质量好,表面光亮无明显缺陷,避免了钨铼合金丝材料的分层现象;同时内外表面一致性好,达到内外均匀;刻蚀方法的整体工艺稳定性高,能将待刻蚀灯丝工作圈内的芯杆刻蚀干净、准确,从而得到高质量的多注阴极灯丝;而且高质量的多注阴极灯丝经去胶、灌封烧结后,不仅增加灯丝组件的通断次数,提高灌注物绝缘性能,延长阴极寿命,更好地满足行波管阴极的使用要求。
搜索关键词: 一种 阴极 灯丝 刻蚀 方法
【主权项】:
一种多注阴极灯丝刻蚀方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:配制用于刻蚀反应的刻蚀溶液;步骤2:配制用于中和处理的碱性溶液;步骤3:将待刻蚀灯丝浸泡在步骤1所配制的刻蚀溶液中进行刻蚀处理;步骤4:对经步骤3的已刻蚀灯丝进行刻蚀溶液残余的冲洗;对冲洗后的已刻蚀灯丝进行抽检处理,如果抽检合格则进入步骤5,如果抽检不合格则返回步骤3;对经返回步骤3的已刻蚀灯丝在煮沸的蒸馏水中进行刻蚀溶液残余的清洗,清洗完毕后进入步骤5;步骤5:将经步骤4的已刻蚀灯丝浸没在步骤2所配制的碱性溶液中进行中和处理;步骤6:对经步骤5的已中和灯丝用大量的蒸馏水进行碱性溶液残余的冲洗;并对冲洗过的冲洗水进行PH值检测,如果PH值大于7则继续冲洗,直到PH值在7以下则进入步骤7;步骤7:将经步骤6的已冲洗灯丝进行脱水处理;步骤8:将经步骤7的已脱水灯丝进行干燥处理,后将已干燥灯丝进行保存。
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