[发明专利]辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法在审
| 申请号： | 201410658772.4 | 申请日： | 2014-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN104451556A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 杨扬;杨映虎;唐永炳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于真空镀膜技术领域，公开了一种辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法。辐射式蒸发加热器包括加热室、蒸发皿和电源连接器件，蒸发皿连接于加热室或与加热室一体成型，加热室具有加热腔，加热腔与蒸发皿之间相隔开，加热腔内设置有通过辐射对蒸发皿进行加热的加热器件，加热器件连接于电源连接器件。制造方法用于制造上述的辐射式蒸发加热器。本发明所提供的辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法，其克服了现有蒸发加热装置与蒸发材料同处一室造成的加热丝损耗及薄膜污染等问题，使真空蒸发技术应用领域更加广泛；蒸镀薄膜纯度大幅提高；具有真空镀膜效果佳、成本低、更换、清洁方便等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 蒸发 加热器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种辐射式蒸发加热器，其特征在于，包括加热室、蒸发皿和电源连接器件，所述蒸发皿连接于所述加热室或与所述加热室一体成型，所述加热室具有加热腔，所述加热腔与所述蒸发皿之间相隔开，所述加热腔内设置有通过辐射对所述蒸发皿进行加热的加热器件，所述加热器件连接于所述电源连接器件。
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