[发明专利]一种基于基板阵列测试的异物处理系统及其处理方法

摘要

本发明公开了所述系统包括移动支架、控制器、和设置于移动支架上的调制器、吸附装置，吸附装置和调制器分别与移动支架滑动配合连接，调制器上设有光学感应装置，光学感应装置和吸附装置均与控制器电性连接；光学感应装置用于对基板进行光学异物检测，控制器用于接收光学感应装置的感应信号；控制器中运行有异物判断模块，异物判断模块根据光学感应装置的感应信号对基板上是否存在异物作出判断；若基板上存在异物，控制器启动吸附装置对异物进行吸附。本发明通过在调制器上仅设置一组光学感应装置，即可对基板上的异物进行检测，通过吸附装置对基板上所存在的异物进行清除处理，实现对基板各位置处的光学异物检测，可实现全面监控检测，避免了调制器和基板受到异物划伤。

主权项

1.一种基于基板阵列测试的异物处理系统，其特征在于，所述系统包括移动支架、控制器和设置于所述移动支架上的调制器、吸附装置，所述吸附装置和调制器分别与所述移动支架滑动配合连接，所述调制器上设有光学感应装置，所述光学感应装置和吸附装置均与所述控制器电性连接；所述光学感应装置用于对基板进行光学异物检测，所述控制器用于接收所述光学感应装置的感应信号；所述控制器中运行有异物判断模块，所述异物判断模块根据所述光学感应装置的感应信号对基板上是否存在异物作出判断；若基板上存在异物，所述控制器启动所述吸附装置对异物进行吸附；所述的光学感应装置包括一光学信号发射端、一光学信号接收端和三个90度全反射镜，其分别设置于所述调制器相邻两侧面的连接处；所述光学信号发射端与所述光学信号接收端呈90°水平设置，且分别对应设置于所述调制器的相邻两侧面上；所述光学信号发射端所发出的光学信号经三个所述全反射镜依次反射后进入所述光学信号接收端，所述光学信号发射端与所述光学信号接收端分别水平设置于所述调制器的两外侧面上。