[发明专利]一种柔性屏体邦定方法有效
申请号: | 201410664544.8 | 申请日: | 2014-11-19 |
公开(公告)号: | CN105679788B | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 刘胜芳;柳冬冬;刘雪洲;林立;平山秀雄 | 申请(专利权)人: | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/768;H01L21/60 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 彭秀丽 |
地址: | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供的柔性屏体邦定方法,在柔性基板正面的像素区域和邦定区域分别形成若干像素单元和若干邦定引线,在柔性基板上形成覆盖所述像素单元和所述邦定引线的封装层;在柔性基板邦定区域各条邦定引线位置对应的背面形成连通绑定引线的通孔;在通孔内填充导电材料,将邦定引线通过通孔从柔性基板背面引出;将集成电路芯片和/或柔性线路板邦定在柔性基板背面所述通孔处,从而实现基于原子层沉积技术进行封装的柔性屏体邦定。这种技术可以在封装工艺过中不使用掩膜(mask)等遮挡邦定电路区域,通过在基板背面对应于引线位置打孔填充导电材料,进而引出邦定引线就可以实现邦定,工艺简单,生产成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 屏体邦定 方法 | ||
【主权项】:
1.一种柔性屏体邦定方法,其特征在于,包括如下步骤:S1、在所述柔性基板正面的像素区域和邦定区域分别形成若干像素单元和若干邦定引线,在所述柔性基板上通过原子层沉积工艺形成覆盖所述像素单元和所述邦定引线的封装层;S2、在所述柔性基板邦定区域各条邦定引线位置对应的背面形成连通绑定引线的通孔;S3、在所述通孔内填充导电材料,将所述邦定引线通过所述通孔从柔性基板背面引出;S4、将集成电路芯片和/或柔性线路板邦定在所述柔性基板背面所述通孔处。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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