[发明专利]研磨组合物用添加剂无效
申请号: | 201410670366.X | 申请日: | 2007-09-26 |
公开(公告)号: | CN104531063A | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
发明(设计)人: | 寺本匡志;东垣亮子;牧野弘 | 申请(专利权)人: | 霓达哈斯股份有限公司 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 陈建全 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种能够实现稳定的研磨特性的研磨组合物用添加剂。研磨组合物用添加剂含有醇和1种或2种以上的胺化合物。该胺化合物含有季铵盐。特别是以高浓度含有胺化合物时,通过含有醇,能够抑制胺化合物的析出。 | ||
搜索关键词: | 研磨 组合 添加剂 | ||
【主权项】:
一种研磨组合物用添加剂,其为添加在至少使用过1次的研磨组合物中的研磨组合物用添加剂,其特征在于,含有醇和1种或2种以上的胺化合物。
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