[发明专利]一种大功率低垂直发散角InGaAs/GaAs多量子阱半导体激光器结构在审
申请号: | 201410674455.1 | 申请日: | 2014-11-20 |
公开(公告)号: | CN104332826A | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 乔忠良;李占国;薄报学;高欣;张晶;李特;李林;李辉;王勇;曲轶 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学 |
主分类号: | H01S5/343 | 分类号: | H01S5/343;H01S5/22;H01S5/183 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 130022 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种大功率低垂直发散角多量子阱半导体激光器结构,其特征在于,包括:一衬底,在该层结构上进行激光器各层材料外延生长;一缓冲层,该缓冲层生长在衬底上,为N型砷化镓材料;一N型下限制层,该N型下限制层制作在缓冲层上;一下N型下波导层,该N型下波导层生长在下限制层上;一多量子阱层,该多量子阱层生长在下波导层上;一P型上波导层,该P型上波导层生长在多量子阱层上;一P型上限制层,该P型上限制层生长在P型上波导层上;一P型高掺杂层,该P型高掺杂层生长在P型上限制层上,形成大功率低垂直发散角多量子阱半导体激光器半导体激光器结构。 | ||
搜索关键词: | 一种 大功率 垂直 发散 ingaas gaas 多量 半导体激光器 结构 | ||
【主权项】:
一种大功率低垂直发散角InGaAs/GaAs多量子阱半导体激光器结构,其特征在于,包括:一衬底,在该层结构上进行激光器各层材料外延生长;一缓冲层,该缓冲层生长在衬底上,为N型砷化镓材料;一N型下限制层,该N型下限制层制作在缓冲层上;一下N型下波导层,该N型下波导层生长在下限制层上;一多量子阱层,该多量子阱层生长在下波导层上;一P型上波导层,该P型上波导层生长在多量子阱层上;一P型上限制层,该P型上限制层生长在P型上波导层上;一P型高掺杂层,该P型高掺杂层生长在P型上限制层上,形成大功率低垂直发散角InGaAs/GaAs多量子阱半导体激光器半导体激光器结构。
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