[发明专利]隔膜真空泵

摘要

本发明提供一种能提高排气量和极限真空度并能谋求装置的小型化的隔膜真空泵。该隔膜真空泵通过如下方式形成，即，形成隔膜真空泵单元(11a)，并将隔膜真空泵单元沿上下方向叠放多层，利用齿形带(2)将在上下方向上相邻的隔膜真空泵单元的凸轮轴彼此连结起来，并将一个隔膜真空泵单元的凸轮轴(12a)连接于马达(12)，隔膜真空泵单元包括：凸轮轴；曲轴机构(13)，通过凸轮轴的旋转进行工作；连接构件(14)，利用曲轴机构而沿水平方向进行往复运动；隔膜(15、16)，其安装于连接构件的两端部；一对泵室(17、18)，其容积通过隔膜的动作而扩大或缩小；与泵室相连通的进气通路和排气通路；进气侧止回阀；排气侧止回阀。

主权项

1.一种隔膜真空泵，其特征在于，该隔膜真空泵通过如下方式形成，即，形成隔膜真空泵单元，将该隔膜真空泵单元沿上下方向叠放多层，利用齿形带将在上下方向上相邻的所述隔膜真空泵单元的凸轮轴彼此连结起来，并将一个隔膜真空泵单元的所述凸轮轴连接于马达，该隔膜真空泵单元包括：所述凸轮轴，其两端部以能够旋转的方式支承于外壳；曲轴机构，其通过该凸轮轴的旋转进行工作；一个连接构件，其能利用该曲轴机构而沿与所述凸轮轴的轴线正交的水平方向进行往复运动，在所述连接构件的一端侧形成有供所述凸轮轴贯穿且容许所述连接构件沿水平方向移动的贯穿孔；隔膜，其分别安装于该连接构件的两端部；一对泵室，该一对泵室的容积通过该隔膜的动作而扩大或缩小；与各泵室相连通的进气通路和排气通路；进气侧止回阀，其用于限制流体自所述泵室向所述进气通路逆流；以及排气侧止回阀，其用于限制流体自所述排气通路向所述泵室逆流，所述曲轴机构包括：偏心凸轮，其以与所述凸轮轴正交的方式安装于所述凸轮轴且与该凸轮轴构成一体地进行旋转；从动构件，其以能够转动的方式连结于该偏心凸轮的外周；以及所述连接构件，其连结于该从动构件，在所述连接构件的另一端侧形成有供与所述从动构件相连结的连结销嵌合的连结销嵌合孔。