[发明专利]形成器件图案的方法有效
申请号: | 201410681509.7 | 申请日: | 2014-11-24 |
公开(公告)号: | CN104714364B | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | L·A·克莱文格;C·J·拉登斯;R·S·怀斯;徐移恒;J·张 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司;ST微电子公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 吴信刚 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明的实施例提供一种形成器件图案的方法。该方法包括:定义要在器件层中创建的器件图案;在器件层上形成牺牲层;识别压印模具,该压印模具在沿着其高度的一个位置具有代表器件图案的水平截面形状;将压印模具均匀地推挤到牺牲层中,直至压印模具的至少所述位置到达正在由压印模具推挤的牺牲层内的一水平面;将压印模具从牺牲层移除;在由压印模具在牺牲层中创建的凹槽中形成硬掩模,硬掩模具有代表器件图案的图案;以及将硬掩模的图案转移到下面的器件层中。 | ||
搜索关键词: | 形成 器件 图案 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于形成器件图案的方法,包括:定义要在器件层中创建的器件图案;在所述器件层上形成牺牲层;识别压印模具,该压印模具在沿着其高度的一个位置具有代表所述器件图案的水平截面形状;将所述压印模具均匀地推挤到所述牺牲层中,直至所述压印模具的至少所述位置到达正在由所述压印模具推挤的所述牺牲层内的一水平面;将所述压印模具从所述牺牲层移除;在由所述压印模具在所述牺牲层中创建的凹槽中形成硬掩模,所述硬掩模具有代表所述器件图案的图案;以及将所述硬掩模的所述图案转移到下面的所述器件层中,其中所述压印模具具有第一组销钉和第二组销钉,并且其中当所述压印模具被均匀地推挤到所述牺牲层中时,所述第二组销钉不接触所述牺牲层。
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