[发明专利]磁场装置及具有该磁场装置的单晶生长设备在审
申请号: | 201410682106.4 | 申请日: | 2014-11-24 |
公开(公告)号: | CN105696085A | 公开(公告)日: | 2016-06-22 |
发明(设计)人: | 邓浩;周锐;李定武 | 申请(专利权)人: | 银川隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 750021 宁夏回族自治区银*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本发明公开的磁场装置,用于在单晶炉中产生磁场,磁场装置套设于单晶炉外,磁场装置包括磁体和内导磁板,内导磁板位于单晶炉和磁体之间,且与单晶炉的外炉筒壁相接触;本发明公开的具有该磁场装置的单晶生长设备包括上述磁场装置以及套设于磁场装置内部的单晶炉。本发明的磁场装置及具有该磁场装置的单晶生长设备中的磁场装置不仅结构简单、占用空间少,还尽可能缩短了磁场装置与单晶炉的间距,避免了磁场强度的损失,可向单晶炉提供强度最理想的磁场;而具有该磁场装置的单晶生长设备由于磁场装置的作用,其能够有效地抑制单晶炉中的熔体对流,并降低固液界面温度波动,从而降低晶体中的氧含量并减少光致衰减现象,减少黑心低效片的产生几率。 | ||
搜索关键词: | 磁场 装置 具有 生长 设备 | ||
【主权项】:
磁场装置,用于在单晶炉(1)中产生磁场,所述磁场装置套设于所述单晶炉(1)外,其特征在于:所述磁场装置包括磁体(21)和内导磁板(22),所述内导磁板(22)位于所述单晶炉(1)和磁体(21)之间,且与单晶炉(1)的外炉筒壁相接触。
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