[发明专利]一种真彩色全息图案及其制备方法

摘要

本发明公开了一种真彩色全息图案及其制备方法，属于微纳器件光刻加工领域，可应用于防伪或者包装行业。本发明通过光栅结构色的组合实现真彩色，即实现了CIE色域与光栅结构的一一对应。本发明方法为：(1)按照本发明中真彩色方案设计版图(2)清洗硅片，在硅片上旋涂电子抗蚀胶；(3)通过光刻工艺在电子抗蚀胶上形成结构；(4)采用刻蚀工艺在硅片上形成结构，去除电子抗蚀胶得到有结构的硅片；(5)采用纳米压印工艺将结构转移到聚合物薄膜上；(6)采用磁控溅射工艺在聚合物薄膜的结构上溅射高折射率材料；(7)在高折射率材料的结构上旋涂聚合物形成保护层。通过本方案增加了全息图案能表现出的色彩，使得产品更难以仿造。

主权项

1.一种真彩色全息图案的制作方法，用于包装领域的防伪，其特征在于，所述方法包括如下步骤：/n(1)版图设计，按真彩色定义的光栅结构设计版图；/n(2)清洗硅片，在硅片上旋涂电子抗蚀胶；/n(3)通过电子束光刻工艺在电子抗蚀胶上形成步骤(1)中设计的光栅结构；/n(4)采用干法刻蚀将光栅结构转移到硅片上，去除电子抗蚀胶得到有光栅结构的硅片；/n(5)采用纳米压印工艺将光栅结构转移到聚合物薄膜上；/n(6)采用磁控溅射工艺在聚合物薄膜的光栅结构上溅射高折射率材料；/n(7)在高折射率材料的结构上涂敷聚合物形成保护层；所述步骤(1)中根据光栅衍射理论或导模共振效应设计反射式滤波器，得到红光650nm，绿光540nm，蓝光470nm三基色的滤波器，即单色点，通过对三个单色点不同比例组合形成真彩色像素点，实现光栅结构与CIE色域的一一对应，通过光栅周期和方位角控制特定观察角度下的衍射效率，从而实现三色的有机组合；反射光主要是零级衍射光由导模共振效应实现。/n