[发明专利]含倍半萜的成膜树脂及其负性248nm光刻胶

摘要

本发明公开一种含倍半萜的成膜树脂及其深紫外（DUV）波段曝光的负性248nm光刻胶，由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，在溶剂中进行共聚反应制备而成。所述成膜树脂的分子量为2,000～1,000,000；所述共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物：含取代苯乙烯40%～90%；含天然产物倍半萜的组成单元5%～60%；还可以含少量其它性能调节组成单元1%～20%。所述取代苯乙烯是符合化学通式（）的至少一种化合物；所述含倍半萜单元是指符合化学通式（）的至少一种倍半萜醇的（甲基）丙烯酸酯类化合物。本发明的KrF负性光刻胶有良好的分辨率，还可提高光刻胶与硅片的粘附性及抗刻蚀性能，改善其工艺特性。

主权项

一种含倍半萜的成膜树脂，由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，溶剂中进行共聚反应制备而成，所述成膜树脂的分子量为2000～100000；所述共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物：取代苯乙烯                                40%～90%；含天然产物倍半萜的组成单元                5%～60%；性能调节组成单元                          1%～20%；所述取代苯乙烯是符合化学通式（）的至少一种化合物：（）；式中，R₁是H、乙酰基或者丙酰基；m=1或2；所述含天然产物倍半萜的组成单元是指符合化学通式（）的至少一种倍半萜醇的（甲基）丙烯酸酯类化合物：（II）；；所述性能调节组成单元为符合化学通式（）和（）中的至少一种化合物；（）；式中：R_w是H、碳原子数为1～20的烷基或者碳原子数为1～20的烷氧基或，                         R₇是碳原子数为1～10的烷基，R₈是碳原子数为1～10的烷基，o=1～8；R_z是H、碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为1～20的烷氧基、或              ，R₉是碳原子数为1～10的烷基，R₁₀是碳原子数为1～10的烷基，p=1～8；（）；式中：R₁₁是H或CH₃，R₁₂是H、‑CH₂CH₂OH、、、碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为3～8的环烷基或者碳原子数为1～20的羟基烷基；符合化学通式（）的丙烯酸酯类单体有：甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸环戊酯、丙烯酸环戊酯、甲基丙烯酸环己酯、丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸环氧丙酯、丙烯酸环氧丙酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸胆甾醇酯、丙烯酸胆甾醇酯、甲基丙烯酸乙氧乙基酯、丙烯酸乙氧乙基酯、甲基丙烯酸β‑丁内酯、丙烯酸β‑丁内酯、甲基丙烯酸苄酯或者丙烯酸苄酯。