[发明专利]一种磷化铟单晶炉观察窗防污染装置

摘要

本发明公开了一种磷化铟单晶炉观察窗防污染装置，包括调节手柄，连接杆，圆柱形观察窗组件，加热装置，石英透镜片，所述调节手柄设置在单晶炉顶盖上方，所述连接杆与调节手柄固定连接，所述石英透镜片与所述连接杆固定连接，所述圆柱形观察窗组件固定在单晶炉顶盖上，在所述圆柱形观察窗组件下端的周围设有所述加热装置，连接杆与单晶炉顶盖间转动连接，通过转动调节手柄使连接杆转动，并使石英透镜片与圆柱形观察窗组件离合。本发明可以防止磷单质或磷酸对磷化铟单晶炉观察窗的污染，实现了磷化铟材料合成及单晶生长工艺中，对炉内情况进行实时监控。

主权项

一种磷化铟单晶炉观察窗防污染装置，其特征在于：包括调节手柄（1）， 连接杆（3），圆柱形观察窗组件（4），加热装置（5），石英透镜片（6），所述调节手柄（1）设置在单晶炉顶盖（7）上方，所述连接杆（3）与调节手柄（1）固定连接，所述石英透镜片（6）与所述连接杆（3）固定连接，所述圆柱形观察窗组件（4）固定在单晶炉顶盖（7）上，在所述圆柱形观察窗组件（4）下端的周围设有所述加热装置（5），连接杆（3）与单晶炉顶盖（7）间转动连接，通过转动调节手柄（1）使连接杆（3）转动，并使石英透镜片（6）与圆柱形观察窗组件（4）离合。