[发明专利]一种酸刻蚀石英摆片挠性梁设备有效
| 申请号： | 201410690127.0 | 申请日： | 2015-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN104496193A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 杜秀蓉;宋学富;孙元成;王蕾;王慧;张晓强;王玉芬 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及石英摆片挠性梁制造领域，尤其是一种酸刻蚀石英摆片挠性梁设备。所述酸刻蚀石英摆片挠性梁设备，用于酸刻蚀石英摆片挠性梁，包括工作平面和工作罩，所述工作罩设置在工作平面上，并与所述工作平面组成工作空间，在所述工作平面上设有：第一酸刻蚀槽、第二酸刻蚀槽、清洗槽、测厚装置、夹持结构和运动件，所述夹持结构用于夹持所述石英摆片挠性梁，所述运动件用于带动夹持结构在所述第一酸刻蚀槽、第二酸刻蚀槽、清洗槽之间运动，所述第一酸刻蚀槽中用于盛放第一氢氟酸溶液，所述第二酸刻蚀槽中用于盛放第二氢氟酸溶液，所述测厚装置用于测量所述石英摆片挠性梁的厚度。所述酸刻蚀石英摆片挠性梁设备能够减少氢氟酸挥发，避免环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 石英 摆片挠性梁 设备 | ||
【主权项】：
一种酸刻蚀石英摆片挠性梁设备，用于酸刻蚀石英摆片挠性梁，其特征在于，包括工作平面和工作罩，所述工作罩设置在所述工作平面上，并与所述工作平面组成工作空间，在所述工作平面上设有第一酸刻蚀槽、第二酸刻蚀槽和清洗槽，所述第一酸刻蚀槽用于盛放第一氢氟酸溶液，所述第二酸刻蚀槽用于盛放第二氢氟酸溶液；在所述工作平面上固定设有基座；在所述工作空间中设有测厚装置、夹持结构和运动件，所述运动件包括转动杆和支撑杆，所述转动杆与所述基座间隙配合，所述转动杆与所述支撑杆的一端固定连接，所述夹持结构与所述支撑杆的另一端连接，所述转动杆与所述夹持结构设置在所述支撑杆的同一侧；所述测厚装置用于测量所述石英摆片挠性梁的厚度，所述夹持结构用于夹持所述石英摆片挠性梁，所述运动件用于带动所述夹持结构在所述第一酸刻蚀槽、第二酸刻蚀槽、清洗槽之间运动。
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