[发明专利]材料断口表面微观三维形貌干涉检测装置

摘要

本发明公开了一种材料断口表面微观三维形貌干涉检测装置，包括光源系统、分束器、测量臂、参考臂和CCD部件。针对材料断口表面复杂的微观形貌，为提高实验的可控性和操作性，系统采用Linnik结构。光源发出的光经透镜准直后被分束器分成两路，一路射向测量臂，另一路射向参考臂，并分别聚焦照射到被测样品表面和参考反射镜表面。被照射微小区域经显微放大，成象光束在分束器会合后相互叠加干涉，再用CCD在成像面处接收干涉光场，所采集的干涉图像数据经USB接口送入计算机。

主权项

一种材料断口表面微观三维形貌干涉检测装置，包括光源系统、分束器、测量臂、参考臂和CCD部件，所述光源系统，提供照射光束；分束器，将光源系统发射的光束分成两束，一束通过测量臂照射被测样品表面，另一束通过参考臂射向参考镜；测量臂，由显微物镜组Ⅰ和位于显微物镜组Ⅰ后部的载样机构组成，参考臂，由显微物镜组Ⅱ和位于显微物镜组Ⅱ后部的参考镜构成；测量臂与参考臂相互垂直共轭；光源系统、分束器、显微物镜组Ⅰ、载样机构、显微物镜组Ⅱ、参考镜和CCD部件同轴依次设置；光源系统发出一束光束，光束经过分束器分成两束光，其中一束光束为测量光束，测量光束通过测量臂照射在载样机构固定的样品上，并经过样品表面的反射再通过测量臂照射在CCD部件；另一束光束为参考光束，参考光束通过参考臂照射在参考镜上，并经过参考镜表面的反射再通过参考臂照射在CCD部件；CCD部件设置在测量光束和参考光束共同显微干涉成像的位置，将图像转为电子图像存储，其特征在于，所述显微物镜组Ⅱ和参考镜安装在复合微调机构上，所述复合微调机构可以调节显微物镜组Ⅱ和参考镜的空间位置；所述复合微调机构包括上微调块和下微调块，上微调块通过下滑块连接在下微调块上；调节上微调螺钉移动上滑块，并通过紧定螺钉微调上滑块的滑动方向；调节下微调螺钉移动下滑块，并通过紧定螺钉微调下滑块的滑动方向，由此调节上、下滑块的运动同轴性；上微调块通过上滑块连接参考镜座，下微调块通过下滑块连接显微物镜组Ⅱ；所述显微物镜组Ⅱ和分束器的中间还设有补偿平晶，所述补偿平晶用来平衡测量光束和参考光束的光程差。