[发明专利]涂布装置及方法、显示装置用部件的制造装置及制造方法

摘要

本发明提供一种涂布装置、涂布方法、显示装置用部件的制造装置及显示装置用部件的制造方法。所述涂布装置包括：检测部(30A)，配置在涂布喷嘴(21)相对移动的方向上的涂布喷嘴(21)的下游侧，检测至设置在载台(11)上的校正部(11a)的距离及至工件(S)表面的距离；检测部(30B)，配置在涂布喷嘴(21)的上游侧，检测至校正部(11a)的距离及至涂布在工件(S)上的粘合剂表面的距离；及控制装置(P)，对检测部(30A、30B)的检测值进行校正而算出粘合剂(R)的涂布厚度。本发明可使用多个传感器效率佳且准确地检测粘合剂的涂布厚度。

主权项

一种涂布装置，其特征在于包括：涂布喷嘴，对工件涂布粘合剂；载台，一面支撑作为所述涂布喷嘴的涂布对象的工件，一面相对于所述涂布喷嘴相对移动；及传感器，与支撑在所述载台上的工件的涂布粘合剂的面对向设置，且检测距离；且检测距离的所述传感器包括：第1传感器，在所述载台相对于所述涂布喷嘴相对移动粘合剂的涂布方向上，配置在所述涂布喷嘴的下游侧，检测从传感器至设置在所述载台上的校正部的距离及至所述工件表面的距离；及第2传感器，在所述载台相对于所述涂布喷嘴相对移动的粘合剂的涂布方向上，配置在所述涂布喷嘴的上游侧，检测从传感器至设置在所述载台上的校正部的距离及至涂布在工件上的粘合剂表面的距离；且所述涂布装置包括涂布厚度检测部，基于通过所述第1传感器检测出的至校正部的距离及至工件表面的距离、与通过所述第2传感器检测出的至校正部的距离及至粘合剂表面的距离，而检测粘合剂的涂布厚度。