[发明专利]真空紫外成像光谱仪的校准方法及校准装置在审
| 申请号： | 201410705356.5 | 申请日： | 2014-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN104483019A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 孙广尉;王加朋;任小婉 | 申请（专利权）人： | 北京振兴计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种真空紫外成像光谱仪的校准方法，包括：校准真空紫外成像光谱仪的波长测量范围、波长准确度、光谱响应率、均匀性以及空间角分辨率。本发明还提供了一种真空紫外成像光谱仪的校准装置，包括：依次设置于光路中的光源、真空紫外单色分光系统、真空紫外积分球、真空紫外靶标、真空紫外准直光学系统，以及与需要被校的真空紫外成像光谱仪可切换地设置于真空紫外准直光学系统的输出端的真空紫外标准探测器和用以实现真空紫外成像光谱仪的空间角度变换的真空三维扫描机构。采用本发明的技术方案能够及时发现真空紫外成像光谱仪设计过程中存在的缺陷，同时能够有效保证真空紫外成像光谱仪获取数据的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 紫外 成像 光谱仪 校准 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种真空紫外成像光谱仪的校准方法，其特征在于，包括：校准真空紫外成像光谱仪波长测量范围；校准真空紫外成像光谱仪波长准确度；校准真空紫外成像光谱仪光谱响应率；校准真空紫外成像光谱仪均匀性；校准真空紫外成像光谱仪空间角分辨率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京振兴计量测试研究所，未经北京振兴计量测试研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410705356.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
