[发明专利]定位装置、光刻装置和物品制造方法有效
| 申请号： | 201410707257.0 | 申请日： | 2014-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN104678714B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 山田雅教 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 林振波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及定位装置、光刻装置和物品制造方法。一种装置，包括：第一测量装置和第二测量装置，配置成测量移动体在第一方向的位置；驱动单元，配置成在第一方向驱动移动体；控制器，配置成根据与移动体在第一方向的位置指令信息和来自第一测量装置或第二测量装置的位置测量信息相应的控制偏差，以及根据设定为预定值的控制参数，来产生用于驱动驱动单元的控制输入信号。 | ||
| 搜索关键词： | 第二测量 第一测量 定位装置 光刻装置 物品制造 移动体 配置 控制输入信号 驱动驱动单元 位置测量信息 位置指令信息 测量移动 方向驱动 控制参数 控制偏差 驱动单元 控制器 | ||
【主权项】：
1.一种装置，包括：第一测量装置和第二测量装置，分别配置成测量移动体在第一方向的位置；驱动单元，配置成在第一方向驱动移动体；控制器，配置成根据与移动体在第一方向的位置指令信息和来自第一测量装置或第二测量装置的位置测量信息相应的控制偏差，以及根据设定为预定值的控制参数，来产生用于驱动驱动单元的控制输入信号；切换单元，配置成将产生控制输入信号时使用的测量装置从第一测量装置切换到第二测量装置或从第二测量装置切换到第一测量装置；和改变单元，配置成根据切换单元执行的切换来改变控制参数的设定值，其中，在使移动体进行步进移动之后，该装置对安装在移动体上的基板执行预定处理；并且其中，在步进移动过程中切换单元切换测量装置的情况下，根据与预定处理的开始定时相关的信息，改变单元在比预定处理的开始早一定时间以上的定时改变所述设定值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410707257.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种两自由度运动真空吸盘管线结构
- 下一篇：光源系统及显示装置
