[发明专利]用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法

摘要

本发明属于脉冲激光沉积薄膜领域，具体涉及用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法，具体包括如下步骤：根据薄膜脉冲激光沉积物化模型，推导薄膜产物各成分的摩尔比x1随激光能量、基板和靶材的距离以及多元拼合靶材中各单元靶材的圆心角之比x2的理论公式；固定基板和靶材的距离，简化上述理论公式，得到以激光能量和x2为变量的工程公式；根据工程公式方程，在确定激光能量和x2情况下，预测薄膜产物的成分。本发明方法可以用于特定沉积参数下薄膜成分的预测或生产特定成分薄膜时沉积参数的选择。本发明预测方法，对于任意体系的薄膜均可使用，仅需要少量实验数据就能得到可靠性高的工程公式，因而可以大大降低生产时间、成本。

主权项

一种用于预测多元拼合靶材制备薄膜的薄膜成分的预测方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)根据薄膜脉冲激光沉积物化模型，推导薄膜产物各成分的的摩尔比x1随激光能量、基板和靶材的距离以及多元拼合靶材中各单元靶材的圆心角之比x2的理论公式；(2)固定基板和靶材的距离，简化上述理论公式，得到以激光能量和x2为变量的工程公式；然后进行系统实验，选取一系列实验结果，代入到工程公式内，计算方程参数值，由此确定x1随激光能量和x2变化的工程公式；(3)根据工程公式，在沉积参数确定的情况下，预测薄膜产物的成分，或者根据所需要生产的薄膜成分，代入工程公式方程来确定合适地沉积参数；所述沉积参数为激光能量和x2。