[发明专利]一种基于石墨烯无源热电偶的温度探测方法有效
| 申请号： | 201410709659.4 | 申请日： | 2014-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN105698953B | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王锴成;贾越辉;王紫东;彭沛;任黎明;傅云义 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01K7/04 | 分类号： | G01K7/04 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于石墨烯无源热电偶的微纳尺度温度探测方法，该测试方法基于石墨烯的赛贝克系数可以调节，用石墨烯一种材料，制备传统上需要两种材料才可以制备的热电偶器件，实现温度探测。本发明同时避免传统的利用外加电压调制石墨烯赛贝克系数的方式，直接通过不同功函数的金属接触，使得不同区域的石墨烯赛贝克系数不同。本发明既可以直接集成在芯片上原位测量，也可以集成在探针头上，用于扫描不同样品的温度梯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 无源 热电偶 温度 探测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于石墨烯无源热电偶的温度探测方法，其步骤包括：1)合成单层石墨烯薄膜，并将石墨烯转移至衬底上；2)采用电子束曝光、显影、刻蚀石墨烯，形成U形的石墨烯无源热电偶，以及多个U形石墨烯无源热电偶构成阵列；3)在石墨烯无源热电偶上溅射两种不同金属材料制备的电极，获取上述石墨烯无源热电偶的电压ΔU；4)根据公式ΔT＝ΔU/(S1‑S2)，得到石墨烯无源热电偶测试的温度，其中S1、S2为石墨烯接触金属后的赛贝克系数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学，未经北京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410709659.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
