[发明专利]磁性装置、磁力调节装置及其磁力调节方法有效
| 申请号： | 201410709938.0 | 申请日： | 2014-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN105695937B | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 林信志 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/20;C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 姜怡;阚梓瑄 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁性装置、磁力调节装置及其磁力调节方法，所述磁性装置包括：磁力固定部，用于吸附所述金属掩膜上一第一区域；磁力调节部，用于吸附所述金属掩膜上一第二区域；其中，所述磁力固定部的磁力强度固定，所述磁力调节部的磁力强度能够调节，在所述磁力固定部和所述磁力调节部的吸附下，使所述金属掩膜与OLED显示装置的基板紧密贴合。本发明能够使金属掩膜受磁力吸引与基板间受力均匀并紧密贴合。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 装置 磁力 调节 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种磁性装置，用于OLED蒸镀装置中吸附一金属掩膜，使所述金属掩膜与OLED显示装置的基板紧密贴合，其特征在于，所述磁性装置包括：一磁力固定部，用于吸附所述金属掩膜上一第一区域；一磁力调节部，用于吸附所述金属掩膜上一第二区域；其中，所述磁力固定部的磁力强度为固定，所述磁力调节部的磁力强度能够调节，通过所述磁性装置的所述磁力固定部和所述磁力调节部的吸附，使所述金属掩膜与所述基板紧密贴合，且其中，所述磁力调节部为电磁铁阵列，所述第二区域位于所述金属掩膜的开口的区域，所述电磁铁阵列与所述第二区域相对应；以及所述磁性装置在所述金属掩膜的开口的区域产生的磁力强于在所述金属掩膜的未开口的区域产生的磁力。
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