[发明专利]一种提高产品良率的方法及系统有效
申请号: | 201410713121.0 | 申请日: | 2014-11-28 |
公开(公告)号: | CN105700490B | 公开(公告)日: | 2018-09-07 |
发明(设计)人: | 郭腾冲;徐梅 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 300385 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明提供了一种提高产品良率的方法及系统,利用ESB总线实现机台恢复系统、数据库(存储有影响产品良率的案件)以及良率分析系统数据的集成,并将数据通过一数据转换系统传达至MES系统,进而准确的知道每个案件对良率的最终影响,为提升良率提供了依据;同时可对连续出现的潜在影响产品良率的案件进行重点追踪和控制,进而更加有效的提升产品良率及生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 产品 方法 系统 | ||
【主权项】:
1.一种提高产品良率的方法,应用于MES系统中的若干机台上,其特征在于,所述方法包括:当所述机台存在异常时,通过一机台恢复系统对所述机台进行恢复处理,且该机台恢复系统将异常信息中潜在影响产品良率因素的信息传递至一数据库;对存储在所述数据库中的所有潜在影响产品良率因素的信息进行确认后,对数据库中所有的潜在影响产品良率因素的信息进行筛选,生成影响产品良率案件并将该影响产品良率案件发送至所述MES系统;所述MES系统根据所述影响产品良率案件对所述机台进行调整。
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